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1986年美国加州大学伯克利分校用微电子工艺制作出直径只有1mm的微型马达,转速可达20 000rpm.此后,在许多国家掀起了研究微电子机械的热潮,此外,微电子、生物工程等技术部门也提出了用常规尺度的设备进行高精度细微操作的需求,对精密机械、自动控制、传感技术等提出了新的要求.
实现生物医学实验手段的革命性变革——微操作机器人研制小记
【摘 要】
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1986年美国加州大学伯克利分校用微电子工艺制作出直径只有1mm的微型马达,转速可达20 000rpm.此后,在许多国家掀起了研究微电子机械的热潮,此外,微电子、生物工程等技术部门
【机 构】
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南开大学
【出 处】
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天津科技
【发表日期】
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2002年5期
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