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以快放电或可见短脉冲激光泵浦的台式Ｘ射线激光器的出现［１］使实验室规模的相干Ｘ射线实验成为可能［２～４］，实验装置中至今仍很缺乏的一个重要元件是用于操纵光束的高反射率反射镜。设计制造波长在３５～５０ｎｍ范围的反射膜层相当困难。在更短波长上，比如用Ｍｏ－Ｂｅ（λ＝１１．５ｎｍ）和Ｍｏ－Ｓｉ（λ＝１３ｎｍ）做成的多层反射镜的正入射反射率已达到６０％［５］。而这里所讨论的波段正好是落在长波范围（其固体光谱由价电子激发产生）和短波范围（其内壳电子激发具有关键重要性）之间。在这个光谱波段，既不能使用Ａｌ和ＬｉＦ（它