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射频激光对氧化铝陶瓷基片划片的研究
射频激光对氧化铝陶瓷基片划片的研究
来源 :佛山陶瓷 | 被引量 : 0次 | 上传用户:Kila5200
【摘 要】
:
分析了射频C02激光陶瓷基板划片的机理及工艺参数选择的原则,通过数值模拟和实验,分析了脉冲频率、脉冲宽度、划片速度、辅助气压大小、离焦量等工艺参数对激光划片质量的影
【作 者】
:
候廉平
陈陪峰
陈清明
【机 构】
:
华中科技大学激光工程研究院
【出 处】
:
佛山陶瓷
【发表日期】
:
2002年11期
【关键词】
:
射频激光
氧化铝陶瓷基片
划片
研究
射频CO2激光器
RFCO2 laser
scribing
Al2O3ceramicsubstrate
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分析了射频C02激光陶瓷基板划片的机理及工艺参数选择的原则,通过数值模拟和实验,分析了脉冲频率、脉冲宽度、划片速度、辅助气压大小、离焦量等工艺参数对激光划片质量的影响.
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