利用激光散斑测量CCD的调制传递函数

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在分析了影响CCD调制传递函数 (MTF)诸种因素的基础上 ,选取一些半导体材料的典型值 ,数值模拟计算了MTF .利用激光照明粗糙表面的物体所形成的散斑图样 ,根据散斑功率谱经CCD成像前后的变化 ,确定CCD的调制传递函数 .实验结果与数值模拟计算结果相符 Based on the analysis of various factors affecting the modulation transfer function (MTF) of CCD, the typical values ​​of some semiconductor materials are selected and MTF is calculated numerically.The speckle patterns formed by laser illumination of rough surface objects are calculated, The change of CCD imaging before and after the spectrum was determined by CCD modulation transfer function.The experimental results are consistent with the numerical simulation results
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