【摘 要】
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为了实现球面栅网零件几何要素的精密测量,快速筛选出满足电子光学设计要求的合格零件。对测量设备与附件的特点、零件的设计要求、加工工艺带来的常见超差问题进行研究。根
【机 构】
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中国科学院空天信息创新研究院,中国科学院高功率微波源与技术国防科技创新重点实验室
【基金项目】
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中国科学院电子学研究所优秀青年人才计划资助项目(No.Y5Z0230239)
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为了实现球面栅网零件几何要素的精密测量,快速筛选出满足电子光学设计要求的合格零件。对测量设备与附件的特点、零件的设计要求、加工工艺带来的常见超差问题进行研究。根据零件的测量要素,从测量效率和精度的角度考虑,选择了加装激光辅助对焦系统的影像测量仪。编写了自动测量程序,自动将粗定位定向转为精准定位定向,完成了零件全部几何要素的自动测量。针对“大半径、小圆弧”的测量难点,进行了量化分析和计算,得出了曲率半径测量结果不确定度的计算公式。最后,讨论了测量不确定度的来源,提出了抑制各误差源的方法。实际应用时,利用上述
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