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通过真空镀膜技术的分析,给出了基本真空镀膜方法,介绍分立双室离子镀膜特点,及IP-4B型分土双室离子镀膜机设计思想,指出其镀膜产品工业化方法.
分立双室离子镀膜技术浅析
【摘 要】
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通过真空镀膜技术的分析,给出了基本真空镀膜方法,介绍分立双室离子镀膜特点,及IP-4B型分土双室离子镀膜机设计思想,指出其镀膜产品工业化方法.
【出 处】
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科技创新导报
【发表日期】
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2004年期
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