论文部分内容阅读
(超)浅结制造技术是当今VLSI/ULSI的关键技术之一,本文分析了该技术中牵涉到的几个问题,在对当前国外流行的几种实用方法评估对比的基础上,就该技术目前的状况以及今后的发展趋势作一综合论述。
VLSI／ULSI中的浅结制造技术
【摘 要】
：
(超)浅结制造技术是当今VLSI/ULSI的关键技术之一,本文分析了该技术中牵涉到的几个问题,在对当前国外流行的几种实用方法评估对比的基础上,就该技术目前的状况以及今后的发展
【机 构】
：
机械电子工业部东北微电子研究所,机械电子工业部东北微电子研究所
【出 处】
：
微处理机
【发表日期】
：
1992年2期
其他文献
古老的“线的艺术”曾经创造过与西方艺术平分秋色的辉煌，如果说“线”性思维带有浓郁的中国风，那么“线”形视点则是更加符合中国人一贯的观察方法和思维方式。这不是一个新的
利用广西及邻区2014—2016年流动重力观测资料,系统分析了区域重力场变化及其与2016年7月31日广西苍梧M_S5.4地震的关系,并结合GPS观测数据与地震地质调查成果,探讨了区域重力场变化的时空分布特征及其机理。结果表明:1)苍梧M_S5.4地震前后,震区附近重力异常变化与主干断裂在空间上关系密切,反映了沿控震断裂在2014—2016年期间发生了引起地表重力变化效应的地壳变形和构造活动;2)
目的:探讨早期康复护理干预对缺血性脑卒中恢复期患者神经和认知功能的积极作用。方法:收治缺血性脑卒中恢复期患者88例,随机分为对照组和观察组,每组各44例。对照组采用常规
新一轮国家基础教育课程改革已经在全国深入开展,教学方式的转变是这次基础教育课程改革是否取得实质效果的一个重要标志,也是教育工作研究者的重要课题之一。数学作为一门基
dBASEⅢ是深受程序设计人员欢迎的关系式数据库管理系统。但是,由于该系统未对 DBF 文件进行保护而限制了其应用范围。作者在利用调试程序 debug 对 dB-ASEⅢDBF 文件结构进
【正】 一、校园文化建设系统的内容 我国的大学校园文化系统按其性质可分为思想建设、知识建设、环境建设和方法建设四个子系统。这四个子系统各有其不同的内容功能,又同时
本文提出了工作站数是实现PABX局部网时值得注意的一个问题，并通过分析影响PABX网中用户数因素，指出了在PABX局部网中影响工作站数的主要因素，再通过这个主要因素，推导出计算PABX
引言氢离子敏场效应晶体管（HISFET）是一种被用来测量溶液中氢离子浓度（pH 值）的新型半导体化学传感元件。它的结构与普通绝缘栅场效应晶体管类似。栅绝缘膜为二氧化硅（SiO<sub>2</
目的探讨超声检查联合X线摄片乳腺导管造影对乳管内占位性病变的诊断价值。方法回顾性分析2010年6月至2015年6月我院收治的93例乳管内占位性病变患者的超声和X线摄片乳腺导管