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与浸没液、光刻胶和顶部涂层的相互作用，以及边缘水珠去除工艺有关的缺陷都会影响到工艺成品率。自动边缘检查揭示出几种浸没式光刻所特有的缺陷模式。
监测基于浸没式光刻的晶圆边缘缺陷
【摘 要】
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与浸没液、光刻胶和顶部涂层的相互作用，以及边缘水珠去除工艺有关的缺陷都会影响到工艺成品率。自动边缘检查揭示出几种浸没式光刻所特有的缺陷模式。
【机 构】
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RudolphTechnologies
【出 处】
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集成电路应用
【发表日期】
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2007年6期
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