【摘 要】
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本文讨论了作为精密机械基础技术的超微米技术与其他科学技术之间的关系,评述了七十年代以来一些超微米技术的进展。例如:空气静压疏松轴承、微位移器件、温升与热变形的控制
【机 构】
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西安交通大学微型技术教研室,西安交通大学微型技术教研室,
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本文讨论了作为精密机械基础技术的超微米技术与其他科学技术之间的关系,评述了七十年代以来一些超微米技术的进展。例如:空气静压疏松轴承、微位移器件、温升与热变形的控制、激光反馈控制系统以及微细图形对准技术等,最后,提出了有关精密机械的几点看法。
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