【摘 要】
：
纳米光学表面是指表面粗糙度均方根值在纳米尺度的光学表面，广泛应用于微电子领域以及光学仪器和装备领域。纳米光学表面加工缺陷主要有表面损伤和亚表层损伤两个方面；基于非接
【机 构】
：
西安工业大学光电工程学院陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室
论文部分内容阅读
纳米光学表面是指表面粗糙度均方根值在纳米尺度的光学表面，广泛应用于微电子领域以及光学仪器和装备领域。纳米光学表面加工缺陷主要有表面损伤和亚表层损伤两个方面；基于非接触式无损检测手段的优点，钳对白光干涉技术和表面散射测量技术等进行原理分析，采用不同的工艺条件制备不同加工缺陷的测试样片，分别采用白光干涉仪、原子力显微镜和表面散射测量仪进行测量对比分析，实验结果表明白光干涉技术是进行表面粗糙度和亚表层损伤测量的有效手段，具有检测精度高、测量速度快以及对被测件无损伤等特点。
其他文献
用EDTA螯合Pd2 +及其它金属离子 ,然后用亚硫酸钠分解Pd -EDTA螯合物 ,释出的EDTA以Zn2 +标准溶液返滴定 ,大量各种金属离子完全不干扰。用于测定Pd -Cu合金镀层、Pd -Ni合金
随着汽车行业的快速发展,机动车检测机构逐步走上规范化、科学化管理的轨道,北京丰台岳各庄机动车辆检测场1987年建场,现有场领导班子5人,技术人员12人,检验员124人,3条安全
2013年6月29日下午,由中国汽车新闻工作者协会(以下简称中国汽车记协)主办、中国汽车报社承办的“纪念中国汽车六十周年‘百名记者共话中国汽车强国梦’座谈会”在北京举行。
目的研究12-脂氧合酶(12-lipoxygenase,12-LO)过表达对内皮功能的影响,并探讨其可能的机制。方法 SD大鼠分为假手术组(sham)、球囊损伤组(balloon injury,BI)、球囊损伤+空载
深圳盐田地区基岩地下水特征及勘查方法简介深圳盐田港是我国“八五”期间重点建设的四大深水港之一，为了解决港口建设和建成后的用水，地质研究所在港口所在地盐田境内运用地质
THE CRAZY HELMET一辆形似头盔小跑车,一个自动升降式尾翼,这是MINICOUPE给我的第一印象。熟悉的1.6T发动机,熟悉的复古拨杆按键,但开着它出门的感觉依旧很新鲜。这就是MINI
本报讯位于塔克拉玛干沙漠腹地的塔参1井，最近成功地进行了口径244．5毫米套管下深至5312米的固并作业，这是我国石油钻井史上目前同口径下的最深的一口探井。塔参1井设计并深7500
在河道上修建非防洪工程,应进行洪水影响评价,文章选用通辽至四平铁路电气化改造工程平齐线西辽河大桥为计算实例,通过三种方法进行壅水计算,得出工程实施后河道水位壅高,为
研究了在 HSGF2 54薄层板上 ,镝、镱与二甲酚橙形成的络合物的薄层色谱特性 ,展开剂为甲醇∶乙二醇 =2∶ 3( v/v)时 ,Rf 值为 0 .357与 0 .893,具有良好的选择性和重现性 .可
根据装置加工国外原油的特点,通过比较各种轻烃回收流程方案,设计了不用压缩机的轻烃回收系统。生产实践表明,该流程具有工艺筒单、能耗低、占地少、操作人员少、操作和维修