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<正>(接2014年第5期第80页)靶—基距对沉积速率有很大影响,图19给出了S-枪靶的靶基距对沉积速率的影响。从图中可见,随着靶基距的增加,沉积速率呈双曲线状下降。沉积速率随靶—基距的增加而下降是由于靶材粒子在迁移过程中的散射效应引起的。为
真空技术及应用系列讲座 第十九讲 真空溅射镀膜
【摘 要】
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<正>(接2014年第5期第80页)靶—基距对沉积速率有很大影响,图19给出了S-枪靶的靶基距对沉积速率的影响。从图中可见,随着靶基距的增加,沉积速率呈双曲线状下降。沉积速率随靶
【机 构】
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东北大学,
【出 处】
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真空
【发表日期】
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2014年06期
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