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期刊论文
等离子辅助镀光学薄膜的研究
等离子辅助镀光学薄膜的研究
来源 :华侨大学学报:自然科学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户:longdc
【摘 要】
:
研究用等离子辅助镀技术,制备3种氧化物光学薄膜.透射光谱实验表明,该薄膜透明度好,吸收损耗小,具有优良的光学特性.经表面形貌探讨,说明等离子辅助镀技术可得到较为致密平整的薄
【作 者】
:
杜旭日
郭亨群
【机 构】
:
华侨大学信息科学与工程学院
【出 处】
:
华侨大学学报:自然科学版
【发表日期】
:
2001年1期
【关键词】
:
等离子辅助镀
等离子体源
氧化物光学薄膜
透明度
吸收损耗
光学特性
plasmaaided plating
optical film
plasma sou
【基金项目】
:
福建省自然科学基金
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研究用等离子辅助镀技术,制备3种氧化物光学薄膜.透射光谱实验表明,该薄膜透明度好,吸收损耗小,具有优良的光学特性.经表面形貌探讨,说明等离子辅助镀技术可得到较为致密平整的薄膜.而新型等离子体源,能有效地改善光学薄膜的特性,具有实际应用的价值.
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