【摘 要】
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<正> 电子探针X 射线显微分析仪（EIectron probe X—raymicroaIyzer,缩写为EPMA 或EPA）简称电子探针.它是固体物质显微分析（微区成份、形貌和结构分析）的有力工具.目前电子探针一
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<正> 电子探针X 射线显微分析仪（EIectron probe X—raymicroaIyzer,缩写为EPMA 或EPA）简称电子探针.它是固体物质显微分析（微区成份、形貌和结构分析）的有力工具.目前电子探针一般都和扫描电镜（SEM）相组合,成为一种综合性的测试分析仪器.可以同时获得1—5微米3体积内的微区成份,微观形貌和晶体结构等信息.电子探针的微区成份分析不同于一般化学分析,它能将微区化学成份和显微组织对应起来。实际上是一种显微组织的分析.目前这类仪器分析的元素范围为B?—92U,探测极限50—
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