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1.5万t/a三氯氢硅生产装置研究
1.5万t/a三氯氢硅生产装置研究
来源 :氯碱工业 | 被引量 : 0次 | 上传用户:baby_say
【摘 要】
:
对1.5万t/a三氯氢硅装置进行了研究,包括开发背景、生产技术、工艺流程、注意事项、原料及动力消耗、安全与环保等。
【作 者】
:
董前程
孟德州
【机 构】
:
江西景德半导体新材料有限公司,河北金牛化工股份有限公司
【出 处】
:
氯碱工业
【发表日期】
:
2010年6期
【关键词】
:
三氯氢硅
生产装置
研究报告
trichlorosilane
production facility
study report
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对1.5万t/a三氯氢硅装置进行了研究,包括开发背景、生产技术、工艺流程、注意事项、原料及动力消耗、安全与环保等。
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