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采用真空热蒸发法分别制备出柔性衬底和玻璃衬底ITO／TPD／Alq／Al结构有机电致发光器件（OLED）。利用原子力显微镜研究了玻璃衬底及柔性衬底ITO膜的表面形貌的差异。研究了玻璃衬底及柔性衬底OLED的工作电压、发光效率等性能，发现两者的起亮电压相差不大，后者的B-I曲线具有更好的线性关系，发光性能和电流特性与前者相比则存在较大差距；还对柔性衬底OLED性能较差的原因进行了深入分析。