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文章介绍了统计过程控制（SPC）技术的基本原理，对其两个基本的监控工具控制图和过程能力做了简单介绍，并在实际中应用SPC技术对扩散工艺SiO2厚度进行了监控。
简述SPC技术在扩散工艺SiO2厚度控制中的应用
【摘 要】
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文章介绍了统计过程控制（SPC）技术的基本原理，对其两个基本的监控工具控制图和过程能力做了简单介绍，并在实际中应用SPC技术对扩散工艺SiO2厚度进行了监控。
【机 构】
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西安电力电子技术研究所
【出 处】
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山东工业技术
【发表日期】
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2015年20期
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