【摘 要】
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本发明公开了一种适用于通孔的化学镀方法。首先,对通孔内壁进行处理,改善化学镀液的润湿效果。其次,化学镀纯金属层或合金层。该方法工艺流程简单、效果良好,适用于微电子元器件
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本发明公开了一种适用于通孔的化学镀方法。首先,对通孔内壁进行处理,改善化学镀液的润湿效果。其次,化学镀纯金属层或合金层。该方法工艺流程简单、效果良好,适用于微电子元器件的通孔连接。
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