6H-SiC辐照特性的低温光致发光研究

来源 :光散射学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：x_schen

【摘要】

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本文用低温光致发光(LTPL)技术对经中子辐照的N型6H-SiC在350℃-1650℃温度范围的退火行为进行了研究。在700℃退火后观察到DI中心(D1-center)和位于485．0nm、493．6nm处的发光

【作者】

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王鸥丁元力钟志亲袁菁龚敏 ChenXD FungS

【机构】

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四川大学物理科学与技术学院微电子技术四川省重点实验室,香港大学物理系

【出处】

：

光散射学报

【发表日期】

：

2004年1期

【关键词】

：

碳化硅低温光致发光辐照诱生缺陷退火处理零声子谱线 6H-SiC LTPL Irradiation-induced-defect Annealing

【基金项目】

：

国家自然科学基金(60076010)资助

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本文用低温光致发光(LTPL)技术对经中子辐照的N型6H-SiC在350℃-1650℃温度范围的退火行为进行了研究。在700℃退火后观察到DI中心(D1-center)和位于485．0nm、493．6nm处的发光中心。我们发现D1中心与深能级瞬态谱(DLTS)的E1／E2深能级对具有不同的退火行为，这否定了它们源于相同的辐照诱生缺陷的观点。D1中心可能源于由空位和反位组成的复合体。

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