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由于易与读出电路集成在一起，硅基红外探测器成为—研究热点．文章评述了近年来取得较大进展的几种硅基红外探测器，主要包括非本征硅，GexSi1-x/Si异质结，PtSi及Si基HgCdTe红外探测器件．展望了硅基红外探测器的发展前景．
硅基红外探测器的研究进展
【摘 要】
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由于易与读出电路集成在一起，硅基红外探测器成为—研究热点．文章评述了近年来取得较大进展的几种硅基红外探测器，主要包括非本征硅，GexSi1-x/Si异质结，PtSi及Si基HgCdTe红外探测
【机 构】
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昆明陆军学院物理教研室
【出 处】
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物理与工程
【发表日期】
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2002年3期
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