【摘 要】
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影响基于溶胶-凝胶法的氧化锌浸渍提拉薄膜制备过程的因素很多,每一个影响因素均会影响氧化锌薄膜厚度的均匀性。通过虚拟仿真技术,可以实现试验前逐一筛选影响氧化锌膜厚度
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影响基于溶胶-凝胶法的氧化锌浸渍提拉薄膜制备过程的因素很多,每一个影响因素均会影响氧化锌薄膜厚度的均匀性。通过虚拟仿真技术,可以实现试验前逐一筛选影响氧化锌膜厚度的因素、同时快速优化溶胶-凝胶法工艺的目的。基于Fluent平台,对基于溶胶-凝胶法制备氧化锌薄膜的整个工艺过程进行了虚拟化探索,同时结合溶胶-凝胶法试验,将试验过程虚拟化后得到的氧化锌薄膜厚度与试验结果进行比对,验证溶胶-凝胶法过程虚拟化仿真方法的正确性,指出了基于Fluent平台的虚拟仿真方法的改进方向。试验及模拟结果均表明:提拉速度不同时,氧化锌薄膜平均厚度不同,同时,提拉速度越大,薄膜不均匀区域越明显。
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