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SiNx薄膜的制备、结构及其光学性能表征
【出 处】
：
真空科学与技术学报
【发表日期】
：
2005年z1期
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李珂钧,祖籍山东莱阳市,美术研究生毕业,现为中国美术家协会会员、中国版画家协会常务理事、中国鲁迅版画奖获得者、北京钓鱼台国宾馆国礼画家、英国皇家美术学院客座教授、