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本文介绍了SEM系统在IC制造工艺中的应用。分别就非破坏分析和剖面分析两方面的典型内容作出了实例分析，并给出了它们的SEM图。通过SEM测试为IC制造工艺提供了可靠的质量监控手段和分析依据。
SEM系统在IC工艺中的应用
【摘 要】
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本文介绍了SEM系统在IC制造工艺中的应用。分别就非破坏分析和剖面分析两方面的典型内容作出了实例分析，并给出了它们的SEM图。通过SEM测试为IC制造工艺提供了可靠的质量监控
【机 构】
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中国华晶电子集团公司中央研究所!无锡,214035
【出 处】
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微电子技术
【发表日期】
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1998年2期
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