【摘 要】
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In addition to being used for pattern transfer,the negative photoresist SU-8 iswidely used as a structural material in microelectromechanical systems(MEMS).Due
【机 构】
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NationalKeyLaboratoryofScienceandTechnologyonMicro/NanoFabrication
【基金项目】
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supports from the Shanghai Professional Technical Service Platform forNon-Silicon Micro-Nano Integrated Manufacturing and Project funded by China Postdoctoral Science Foundation(No.2018M630440).
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In addition to being used for pattern transfer,the negative photoresist SU-8 iswidely used as a structural material in microelectromechanical systems(MEMS).Due to its good photopatternability,SU-8 has lower manufacturing costs than many other materials,bu
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