【摘 要】
:
In addition to being used for pattern transfer,the negative photoresist SU-8 iswidely used as a structural material in microelectromechanical systems(MEMS).Due
【机 构】
:
NationalKeyLaboratoryofScienceandTechnologyonMicro/NanoFabrication
【基金项目】
:
supports from the Shanghai Professional Technical Service Platform forNon-Silicon Micro-Nano Integrated Manufacturing and Project funded by China Postdoctoral Science Foundation(No.2018M630440).
论文部分内容阅读
In addition to being used for pattern transfer,the negative photoresist SU-8 iswidely used as a structural material in microelectromechanical systems(MEMS).Due to its good photopatternability,SU-8 has lower manufacturing costs than many other materials,bu
其他文献
残疾人实现就业是社会稳定发展的重要组成部分,但在上海生理残疾人就业难问题仍然十分突出。本文以问卷调查和实地走访形式,深入浅出地分析了残疾人就业困境,并试图寻求对策,以促
<正> 我们利用胃肠X线机介入放射学的应用,取得了一些经验。近期我们共进行了各种检查和治疗8例15人次,现总结如下。材料及方法一、造影方法:应用日本岛津ED150L,5F—6F导管
文章以“实物链一资金链”二维分析为起点,探讨政府部门固定资产管理从采购到报废的“计划、执行、检查、处理”(PDCA)循环管理模式,旨在加强政府部门固定资产的监管力度,减少固定
阿奇霉素(azithromycin, AZM)是在红霉素A内酯环的9α位插入一个含有取代甲基氮原子的大环内酯类氮酯类新抗生素,现将其临床应用综述如下。1 泌尿生殖系统感染1.1 沙眼衣原体
国民经济进步得益于技术的发展,全民健身运动的开展得益于我国体育科技的的高速发展,这对我国综合实力的提高有很大的帮助。本文的作者查阅了大量的资料从体育科学技术的发展对
在《全日制义务教育数学课程标准》的“统计与概率”部分内容中 ,学生将体会抽样的必要性以及用样本估计总体的思想 ,进一步学习描述数据的方法 ,进一步体会概率的意义 ,并能
为了满足井下不同场合对步进电机控制器的需求,介绍了步进电机的控制原理及步距设置,设计了基于DSP的双H桥步进电机控制器,同时介绍了快速续流的作用及工作原理,提供了系统的
唐家河的鸟类已知有 2 0 4种 ,分隶于 1 3目 4 0科 ,占四川省鸟类 61 5种的 33%。古北种 87种 ,占4 3% ;东洋种 90种 ,占 4 4% ;广布种 2 7种 ,占 1 3%。特产种 2 7种 ,占全
针对云计算中负载均衡算法效率不高的问题,提出了一种改进的加权轮询算法来解决云计算中的负载均衡效率问题。首先根据服务器的负载状态得到负载因子的值,然后比较负载因子的