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概略介绍了基于白光的双波长相移干涉表面形貌测量系统的原理，具体分析了影响测量精度的各种误差因素，给出了相应的误差的计算公式和计算结果，并用模拟测量结果和实际测量结果进行了验证和比较。
基于白光的双波长相移干涉的误差分析
【摘 要】
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概略介绍了基于白光的双波长相移干涉表面形貌测量系统的原理，具体分析了影响测量精度的各种误差因素，给出了相应的误差的计算公式和计算结果，并用模拟测量结果和实际测量结果进
【机 构】
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中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室,四川联合大学物理系
【出 处】
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光学精密工程
【发表日期】
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1999年5期
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