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用化学水浴法在玻璃衬底上沉积ZnS薄膜。采用XRD、SEM、nkd-薄膜分析系统对薄膜的形貌、结构和光学性能进行了分析,结果表明:当氨浓度≤1.50mol/L,可获得白点较少、平整性较好的非晶ZnS薄膜,在红移方向上很长的波段内透过率较好,可达95%以上,禁带宽度为3.81eV,折射率随波长的增加而减小,从2.32变化到1.92.有关化学水浴ZnS薄膜折射率的报道极少;当氨浓度>1.50mol/L时,薄膜白点增多,易龟裂和剥落,结构是立方闪锌矿。