交流永磁伺服系统技术讲座 第六讲(六) 伺服控制系统中的传感器

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3.6激光干涉仪激光是60年代末兴起的一种新型光源,广泛应用于各个方面。它与普通光相比具有许多特殊性能:高度相干性相干波是指两个具有相同方向、相同频率和相位差相同的波。普通光源是自发辐射光,是非相干光。激光是受激辐射光,具有高度的相干性。方向性好普通光向四面八方发光,而从激光器发出来的激光,其发散角很小,几乎与激光器的反射镜面垂 3.6 Laser Interferometer Laser is a new type of light source emerging in the late 1960s and is widely used in all aspects. It has many special properties compared to normal light: Highly coherent Coherent waves are two waves with the same direction, the same frequency and the same phase difference. Ordinary light is spontaneous radiation, is incoherent light. Laser is stimulated radiation, with a high degree of coherence. Good general direction of light to light in all directions, while the laser emitted from the laser, its divergence angle is very small, almost mirror and the laser face down
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