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杂散光分析是提高信噪比，保证测量精度的关键手段之一。依据星载大气主要温室气体监测仪光学系统结构及其工作特点，设计了仪器的外遮光罩和前置望远系统的遮光筒。建立仪器的三维实体模型，利用Tracepro软件对仪器氧气通道(758~768 nm)的杂散光进行了分析，给出系统杂散光点源透射比(PST,Point Source Transmittance)曲线，PST在30°离轴角小于5×10-7。依据PST拟合曲线，通过积分计算得到杂散光系数小于4%。结果表明：杂散光抑制措施效果明显，杂散光水平达到了设计指标要求。