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本文通过共振核反应与红外吸收两种实验方法,对用PECVD法淀积的非晶碳膜中氢原子在不同剂量电子辐照下的行为,进行了深入的研究.不同剂量的电子辐照,使碳膜样品中的氢含量大小及氢原子的存在方式等有不同程度的变化.
电子辐照下碳膜中氢原子行为的研究
【摘 要】
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本文通过共振核反应与红外吸收两种实验方法,对用PECVD法淀积的非晶碳膜中氢原子在不同剂量电子辐照下的行为,进行了深入的研究.不同剂量的电子辐照,使碳膜样品中的氢含量大
【机 构】
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南京大学物理系,南京大学物理系南京210008,南京210008,南京210008
【出 处】
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电子学报
【发表日期】
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1993年8期
【基金项目】
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轻工业部科学基金,,江苏省科学基金资助课题
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