超精密加工机床及其新技术发展

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介绍了超精密加工技术、应用背景、发展动向以及超精密加工关键技术的一些最新成果。从超精密加工技术推广应用的角度阐述了其精度目标、模块化、廉价化发展趋势 ,同时就如何发展超精密加工技术全面介绍了目前机床模块化部件、传动系统、检测环节、数控系统和环境控制等领域的最新研究水平和成果。 The latest achievements of ultra-precision machining technology, application background, development trend and key technologies of ultra-precision machining are introduced. From the point of popularization and application of ultraprecision machining technology, the development trend of its precision target, modularization and low cost is expounded. At the same time, the current development of ultraprecision machining technology is introduced in detail. At present, the modular machine components, drivetrain, test link, numerical control system and environment Control and other areas of the latest research and achievements.
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