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本文提出了一种动态多次调制相位的方法，通过三维电磁场模拟仿真发现，这种方法可以有效的抑制驻波效、显著改善电磁场在反应腔内分布的不均匀性。
相位调制对大面积甚高频等离子体反应腔内电磁场的影响
【摘 要】
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本文提出了一种动态多次调制相位的方法，通过三维电磁场模拟仿真发现，这种方法可以有效的抑制驻波效、显著改善电磁场在反应腔内分布的不均匀性。
【机 构】
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理想能源设备 上海 有限公司,上海,201203;
【出 处】
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军民两用技术与产品
【发表日期】
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2014年13期
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