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(3)基于腔机电系统的光学质谱仪.rn图9为基于腔机电系统的纳米光学质谱仪.其中机械振子位于电容为C的平行板电容器的上板.通过一个气体喷嘴把要测量的外界分子(如DNA分子等)喷洒在于此上板.机电微波腔具有振动频率ωc.纳米机械振子具有振动频率ωn.图(b)为图(a)的等效电路.
纳米光学质谱仪——“光秤”(三)
【摘 要】
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(3)基于腔机电系统的光学质谱仪.rn图9为基于腔机电系统的纳米光学质谱仪.其中机械振子位于电容为C的平行板电容器的上板.通过一个气体喷嘴把要测量的外界分子(如DNA分子等)
【出 处】
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实验室研究与探索
【发表日期】
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2013年7期
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