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主要从内应力的测定方法、内应力与沉积工艺参数之间的关系两方面对国内外金刚石薄膜内应力的研究现状进行了综述。
金刚石薄膜内应力研究现状
【摘 要】
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主要从内应力的测定方法、内应力与沉积工艺参数之间的关系两方面对国内外金刚石薄膜内应力的研究现状进行了综述。
【机 构】
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重庆大学理学院应用物理系
【出 处】
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材料导报
【发表日期】
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1999年6期
【基金项目】
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国家自然科学基金
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