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TiCN作为一种新型高硬耐磨材料，在生产的诸多领域得到了广泛的应用。主要介绍了首次采用反应等离子喷涂的方法，以Ti粉作为反应粉体，在氮气和乙炔混合气体为反应气氛的反应室中充分反应，制备出以TiCN为主相的涂层；分析了反应气体流量对涂层的影响；并用SEM和XRD对涂层的组织形貌与相组成进行了分析。