【摘 要】
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为了声表面波(SAW)器件设计的便捷和准确,该文利用耦合模(COM)模型在FEMSDA软件基础上添加了Mo、Pt、Ir 3种金属电极的材料参数,同时将硅酸镓镧(LGS)的材料参数随温度变化的关系式一起加入软件,以(0°,138.6°,26.7°)LGS压电基片为目标,建立了在700 K下不同金属、相对膜厚及占空比条件下的COM色散参数数据库。
【机 构】
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重庆大学新型微纳器件与系统技术国防重点学科实验室
【基金项目】
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国家重点研发计划基金资助项目(No.2019YFB2004800,No.2019YFB2004803),国家自然科学基金资助项目(No.52075061),中央高校基础研究基金资助项目(No.2019CDCGGD320),重庆大学光电工程学院项目研究生科研和创新基金会资助项目(GDYKC202004)。
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为了声表面波(SAW)器件设计的便捷和准确,该文利用耦合模(COM)模型在FEMSDA软件基础上添加了Mo、Pt、Ir 3种金属电极的材料参数,同时将硅酸镓镧(LGS)的材料参数随温度变化的关系式一起加入软件,以(0°,138.6°,26.7°)LGS压电基片为目标,建立了在700 K下不同金属、相对膜厚及占空比条件下的COM色散参数数据库。
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