旋转喷镀法制备GHz高磁导率NiZn铁氧体膜

来源 :华中科技大学学报：自然科学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：bokui0913

【摘要】

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用自研设备将加压的反应溶液Fe^2＋Cl2（＋Fe^3＋Cl3）＋NiCl2＋ZnCl2和缓冲溶液CH3COONH4以一定流量同时喷镀在90℃转盘上的玻璃衬底上以单质氧为氧化剂生成了厚度1-2μm的NiZn铁氧体薄膜.

【作者】

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沈翔冯则坤龚荣洲刘昌辉

【机构】

：

华中科技大学电子科学与技术系

【出处】

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华中科技大学学报：自然科学版

【发表日期】

：

2007年5期

【关键词】

：

Ni-Zn铁氧体薄膜旋转喷镀法复磁导率 NiZn ferrite thin films pin-spray plating method complex

【基金项目】

：

航天科技创新基金资助项目.

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用自研设备将加压的反应溶液Fe^2＋Cl2（＋Fe^3＋Cl3）＋NiCl2＋ZnCl2和缓冲溶液CH3COONH4以一定流量同时喷镀在90℃转盘上的玻璃衬底上以单质氧为氧化剂生成了厚度1-2μm的NiZn铁氧体薄膜.X射线衍射数据表明制备的NiZn铁氧体薄膜具有尖晶石结构.氧化液pH值等于8.8时制备的薄膜的组成是Ni0.25Zn0.09Fe2.66O4,有313 kA/m的大的饱和磁化强度和692.5 A/m的低的矫顽力.在0.1 GHz到3.5 GHz频率范围内用Agilent 8722ES矢量网络

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