切换导航
文档转换
企业服务
Action
Another action
Something else here
Separated link
One more separated link
vip购买
不 限
期刊论文
硕博论文
会议论文
报 纸
英文论文
全文
主题
作者
摘要
关键词
搜索
您的位置
首页
期刊论文
Lock-in用于无损显微分层内窥透视集成电路法
Lock-in用于无损显微分层内窥透视集成电路法
来源 :数据采集与处理 | 被引量 : 0次 | 上传用户:windows2xp
【摘 要】
:
提出一种新的扫描电子显微镜电子束非接触无损显微分层内窥透视半导体和多层结构集成电路表面层下亚表面层内半导体的缺陷和多层结构集成电路微结构的检测法(简称分层法)和用
【作 者】
:
王建
李亚文
肖玲
梁竹关
周开邻
李萍
徐晓华
胡问国
Р
【机 构】
:
云南大学物理系
【出 处】
:
数据采集与处理
【发表日期】
:
2001年z1期
【关键词】
:
扫描电子显微镜
电子束
非接触无损
显微分层内窥透视检测法
半导体和多层结构集成电路
分层的微结构和缺陷
锁相放大器
【基金项目】
:
自然科学技术部和国家科学基金委员会资助项目.
下载到本地 , 更方便阅读
下载此文
赞助VIP
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
提出一种新的扫描电子显微镜电子束非接触无损显微分层内窥透视半导体和多层结构集成电路表面层下亚表面层内半导体的缺陷和多层结构集成电路微结构的检测法(简称分层法)和用此法所观测到的分层内窥透视的图像.同时,还介绍了Lock-in在此新检测法中的应用
其他文献
吴晓灵:合理界定政府职能
当前中国改革已经走到了十字路口,如何界定政府的职能成为各界热议的重点。近日,全国人大财经委副主任委员吴晓灵在中国金融四十人论坛年会上表示,应当超越国有和民营的争论,
期刊
政府职能
吴晓灵
界定
十字路口
中国改革
中国金融
全国人大
副主任
让情感扬起英语教学的风帆
情感是人们对事物的一种好恶的倾向,当情感能满足或符合人的需要的事物,就会引起人的积极态度,使人产生一种肯定情感。艺术性的教学方法可以培养学生良好的肯定情感,而良好的
期刊
情感
英语教学
人的需要
积极态度
教学方法
学习热情
教学质量
其他学科
“年关廉”:守住自己,管好下属
近日上海市纪委、市监察局发出《关于进一步做好2012年元旦、春节期间廉洁自律和厉行节约工作的通知》,就营造风清气正的过节氛围,重申确保“年关廉”的六个严禁等规定和要求。
期刊
下属
廉洁自律
春节期间
上海市
监察局
纪委
严禁
局域网设计预测
论述对先进结构模型CSMA局域网设计实现预测的方法,讨论了CSMA型局域网结构模型,并给出了吞吐量和局域网络效率的计算值,文末用5个程序的模块流程图说明模拟CSMA局域网的算法。
期刊
局域网络
设计
预测
结构模型
湖南再添7家省级高新区
日前,湖南省政府集中批复同意7个地区为湖南省高新技术产业开发区.截至目前,湖南省共有6个国家级高新区、16个省级高新区.
期刊
参赛项目
创业大赛
湖湘
融资机会
科技日报
级分
牵引系统
评价报告
电气公司
科技进步水平
枫叶之国采风——三、世界第一塔眺望
期刊
电视塔
多伦多市
安大略省
加拿大
多伦多大学
钢铁工业
制造业
尼亚加拉
东方明珠
世界一流
河南省政府任免郑煤集团主要领导
2011年12月21日,河南省人民政府“豫政任[2011]160号”决定对郑州煤炭工业(集团)有限责任公司主要领导进行调整:任命张明剑为郑州煤炭工业(集团)有限责任公司总经理、副董事长;
期刊
河南省人民政府
郑煤集团
领导
省政府
任免
有限责任
煤炭工业
总经理
深入与浅出──浅谈理论广播的宣传艺术
期刊
理论广播
宣传艺术
理论节目
主持人节目
马克思主义理论
理论阐述
听众需要
内容和形式的统一
社会参与
可听性
全媒体时代下市县广播电视如何创新发展的思考
本文通过研究新媒体和电视媒体的特点,分析了新媒体对传统媒体的影响,并讨论当前电视媒体的应对策略,力求为广播电视的发展寻求新的发展方向。
期刊
新媒体
广播电视
发展
CRC算法在计算机网络通信中的应用研究
CRC也就是循环冗余校验码,是计算机网络通信领域常用的校验码。循环冗余校验码包括一系列移位、相除等数据编码规则,其算法原理、算法程序的设计与分析,都可以通过相应的软件编
期刊
CRC算法
计算机网络通信
应用
与本文相关的学术论文