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单晶圆清洗技术的研究
单晶圆清洗技术的研究
来源 :科技情报开发与经济 | 被引量 : 0次 | 上传用户:lizhuyundao
【摘 要】
:
分析以往批处理清洗技术面临的问题及现代清洗技术的关键要求,介绍了采用臭氧的单晶圆清洗工艺,提出了臭氧清洗需要解决的问题。
【作 者】
:
任耀华
康冬妮
【机 构】
:
中国电子科技集团公司第二研究所
【出 处】
:
科技情报开发与经济
【发表日期】
:
2009年29期
【关键词】
:
单晶圆清洗
批处理
交叉污染
成品率
臭氧
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分析以往批处理清洗技术面临的问题及现代清洗技术的关键要求,介绍了采用臭氧的单晶圆清洗工艺,提出了臭氧清洗需要解决的问题。
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