ENHANCING ADHESION OF TETRAHEDRAL AMORPHOUS CARBON FILMS

来源 :Academic Journal of Xi'an Jiaotong University | 被引量 : 0次 | 上传用户：baihe0415

【摘要】

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TheperformanceoftheTACfilmsdeposited bytheFCVAisbetterthanthatofthediamond like carbonfilms[1,2],becausetheformerisofhigher hardnessandtransparency,smallerfrict

【作者】

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赵玉清林毅王晓艳王炎武魏新宇

【机构】

：

SchoolofElectronicandInformationEngineering,XianJiaotongUniversity,XianJiaotongUniversityXian,China,

【出处】

：

Academic Journal of Xi'an Jiaotong University

【发表日期】

：

2005年1期

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TheperformanceoftheTACfilmsdeposited bytheFCVAisbetterthanthatofthediamond like carbonfilms[1,2],becausetheformerisofhigher hardnessandtransparency,smallerfriction coefficientandabsorbingtheultravioletraymore easily,etc.[3].Thesecharacteristicsaresimilart

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