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运用SF6运行的表面波持续磁等离子体反应器研究基片温度(从Ts=+20℃到Ts=-45℃)对钨材蚀刻性(蚀刻率及有向性)的影响。根据蚀刻性与氟原子浓度及离子流密度的关系,我们发觉当基片温度与SF6气压降低时,离子协助下的蚀刻现象比自发的化学蚀刻更为显著,在没有外部磁化的情况下,强的蚀刻有向性同时伴随有较强的亚微米均匀性(0.2~1μm)我们研究的结果显示出在基片温度(当其降低时,障碍自发的化学反应