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利用ＸＲＤ及ＸＲＤ极图技术表征了用激光剥离技术生长的ＶＯ２薄膜。结果表明：在衬底温度为５００℃，氧气偏压６．６７Ｐａ的条件下，在α－Ａｌ２Ｏ３（１１２０）衬底上能实现ＶＯ２的二维外延生长。薄膜的结构除了与沉积工艺有关外，还和衬底的取向密切相关。
二氧化钒薄膜在α-Al_2O_3衬底上的外延生长及其金属-半导体相变特性研究
【摘 要】
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利用ＸＲＤ及ＸＲＤ极图技术表征了用激光剥离技术生长的ＶＯ２薄膜。结果表明：在衬底温度为５００℃，氧气偏压６．６７Ｐａ的条件下，在α－Ａｌ２Ｏ３（１１２０）衬底上能实现ＶＯ２的二维外延生长。薄膜的结构除了与沉积工艺有关外，还和衬底的取向
【机 构】
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中国科学院上海硅酸盐研究所
【出 处】
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无机材料学报
【发表日期】
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1999年5期
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