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记者：请您介绍在“十五”期间，作为国家863计划技术攻关重点支持的一个项目，我国IC装备技术和产品研发的重大意义和技术研究的突破点？
IC装备走出三位一体创新路子
【摘 要】
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记者：请您介绍在“十五”期间，作为国家863计划技术攻关重点支持的一个项目，我国IC装备技术和产品研发的重大意义和技术研究的突破点？
【机 构】
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《中国制业信息化》记者
【出 处】
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中国制造业信息化：学术版
【发表日期】
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2005年11期
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