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Ｖ２Ｏ５薄膜是全固态电致变色器件扣锂离子储存层和很好个候选材料之一。本研究采用反应蒸发、优化实验条件，在加热基片上沉积了性能理想的Ｖ２Ｏ５薄膜，分别采用ＸＲＤ，ＡＥＳ，ＸＰＳ和紫外－近红外分光光度计研究了薄膜的晶态结构、组份、钒离子价态和光学等特生。研究结果表明，刚制备的薄为非晶结构，经过一定温度热处理后开始结晶，薄膜的组分为ＶＯ２．４６，含有少量的Ｖ＾＋４；吸收光谱存在两个不同的变化区域，高能区