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半导体仪器在各个领域得到了广泛应用,但制造半导体仪器所需要的高温导热材料仍然是一个迫切需要解决的问题,以AlN为基质的陶瓷,使用各种活性添加剂,对陶瓷性能有显著影响,以Y2O3为添加剂的AlN陶瓷具有良好导热性与电物理性能.
氮化铝陶瓷
【摘 要】
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半导体仪器在各个领域得到了广泛应用,但制造半导体仪器所需要的高温导热材料仍然是一个迫切需要解决的问题,以AlN为基质的陶瓷,使用各种活性添加剂,对陶瓷性能有显著影响,以
【出 处】
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国外耐火材料
【发表日期】
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2004年4期
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