用MOVPE和RF-MBE方法极性控制生长GaN

来源 :发光学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：wangzhijun9999

【摘要】

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本文报道了用低压MOVPE和RF-分子束外延法在蓝宝石衬底上作极性控制的GaN生长.以"双～单层"模型讨论了用MOVPE和MBE法在蓝宝石衬底上生长GaN的极性选择的机理,并对AlN在极性转

【作者】

：

Yoshikawa A Xu K Jia A W Takah

【机构】

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Center for Frontier Electronics and Photonics,;Department of Media Science,

【出处】

：

发光学报

【发表日期】

：

2001年4期

【关键词】

：

GaN外延生长 MOVPE RF-MBE 极性控制

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本文报道了用低压MOVPE和RF-分子束外延法在蓝宝石衬底上作极性控制的GaN生长.以"双～单层"模型讨论了用MOVPE和MBE法在蓝宝石衬底上生长GaN的极性选择的机理,并对AlN在极性转换过程中的作用给出了适当的解释.通过极性控制的生长,使MBE法生长的GaN的表面形貌和电学特性都得到了改善;并对LP-MOVPE生长开发出了一种"三步生长法",这样就可以用更多的外延方式在蓝宝石衬底上生长出高质量的GaN膜.

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