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为了在二维微驱动系统中实时检出磁性移动块的存在位置，提出并试制了一种基于ＭＥＭＳ工艺的微型磁性开关阵列，它作为一种位置传感器通过扫描查询方式工作。对该传感器的工作原理、制做工艺做了详细的描述，并给出了一些实验结果。
基于MEMS技术的微型磁性开关阵列
【摘 要】
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为了在二维微驱动系统中实时检出磁性移动块的存在位置，提出并试制了一种基于ＭＥＭＳ工艺的微型磁性开关阵列，它作为一种位置传感器通过扫描查询方式工作。对该传感器的工作原理、制做
【机 构】
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哈尔滨工业大学自动化测试与控制系,日本国东京大学生产技术研究所
【出 处】
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传感器技术
【发表日期】
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2000年5期
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