【摘 要】
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为实现激光在二维平面内高效、均匀烧蚀污渍清洗靶材,更改激光逐行烧蚀扫描模式,设计激光螺旋式填充路径,控制振镜电机偏转激光在平面内烧蚀呈网状分布。结果表明:对于清洗区
【机 构】
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江苏航空职业技术学院航空工程学院;
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为实现激光在二维平面内高效、均匀烧蚀污渍清洗靶材,更改激光逐行烧蚀扫描模式,设计激光螺旋式填充路径,控制振镜电机偏转激光在平面内烧蚀呈网状分布。结果表明:对于清洗区域内任一点,相比于逐行烧蚀,激光按照螺旋填充路径走完外圈后才重回到该点附近,该点区域获得冷却时间,激光热积累效应变弱。逐行扫描速度为单个振镜电机速度,螺旋扫描速度为两电机速度矢量和。因此,相比于逐行扫描方式,激光螺旋式清洗的效果更加均匀,清洗效率更高。
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