【摘 要】
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针对现有微机电系统（MEMS ）微弹簧研究中侧重于弹性系数的分析，微弹簧优化设计研究则不足的情况，提出了微机电系统微弹簧优化设计方法。该方法根据 MEMS工艺易于平面图形加工的优
【机 构】
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桂林电子科技大学国家软件与集成电路公共服务平台广西分中心,桂林电子科技大学生命与环境科学学院
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针对现有微机电系统（MEMS ）微弹簧研究中侧重于弹性系数的分析，微弹簧优化设计研究则不足的情况，提出了微机电系统微弹簧优化设计方法。该方法根据 MEMS工艺易于平面图形加工的优势，采用 Matlab软件的fgoalattain函数对“L”型微弹簧的线宽进行优化设计，以降低“L”型微弹簧的最大应力。仿真验证表明：在保证微弹簧相同尺寸和弹性系数的前提下，最大应力减少了20%，为后续MEMS微弹簧的结构设计提供了参考。
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