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日本住友重机械工业(株)最近开发出以世界上最小的超导SOR为光源的光刻机,从而完成了X射线光刻系统,向256M DRAM以上的下一代半导体存储器迈进了一步(图1)。
可以实现0.08μm对准精度的光刻机
【摘 要】
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日本住友重机械工业(株)最近开发出以世界上最小的超导SOR为光源的光刻机,从而完成了X射线光刻系统,向256M DRAM以上的下一代半导体存储器迈进了一步(图1)。
【出 处】
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航空精密制造技术
【发表日期】
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1992年6期
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