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采用低温磁控溅射技术在涤纶纺粘非织造布表面沉积ITO（Indium Tin Oxide，铟锡氧化物）薄膜，利用原子力显微镜（AFM）观察ITO纳米薄膜在纤维表面沉积的微观结构，并较为系统地分析了溅射时间、溅射功率、氧气流量、气体压力以及基底温度对ITO透明导电薄膜微结构的影响。得到以下结论：沉积时间的长短、工作气体压力的大小对成膜的均匀性有很大影响；较高的射频溅射功率将导致纳米颗粒因团聚而增大；而氧气流量的大小则影响着颗粒结晶程度的好坏和晶粒尺寸的大小；基底温度升高则会导致颗粒产生热迁移现象。