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期刊论文
非接触方法测量薄膜厚度的研究
非接触方法测量薄膜厚度的研究
来源 :机械管理开发 | 被引量 : 0次 | 上传用户:liqwart2
【摘 要】
:
讨论了非接触测量技术,介绍了各种技术的基本原理及其特点,指出了物体厚度测量技术、数据处理技术以及特征提取技术的有机结合是实现各种测量技术广泛应用的重要基础.
【作 者】
:
赵俊梅
林祥德
【机 构】
:
中北大学
【出 处】
:
机械管理开发
【发表日期】
:
2006年2期
【关键词】
:
非接触测量
三角测量法
相位测量
莫尔技术
Noneontact measurement Triangulation method Phase measurem
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讨论了非接触测量技术,介绍了各种技术的基本原理及其特点,指出了物体厚度测量技术、数据处理技术以及特征提取技术的有机结合是实现各种测量技术广泛应用的重要基础.
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